BGY-717
パラメータ
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一 適用範囲
炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される
二 製品特徴
1.粒子径の均一性や分散性に優れる。
2．ダメージフリーの研磨加工面が得られる。
3．混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。
4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。
三 主要技術指標
化学成分 | コンテンツ |
酸化セリウム | 5－8％ |
脱イオン水 | 92－95％ |
その他 | ≦1％ |
化学や物理的な指標 | 基準値 |
D50 | 80－120nm |
PH値 | 2-3 |
色 | 赤い |
備考：上記データは顧客様の要求によって調整できる。
四 包装・荷姿
5㎏/bucket 20㎏/bucket
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